氮化鈦涂層在微電子機械系統范疇的應用
1、使用氮化鈦涂層DLC涂層低外表能作為MEMS外表資料
跟著裝置零件尺度下降，外體現象變得越來越重要。伴跟著外體現象的范德華力，毛細管吸附效果以及由粘性引起的部分剪切力在微觀條件下變得至關重要。MEMS的典型裝置具有尺度范圍從幾十微米到幾毫米的元件，而且一個單獨元件部分的尺度(取決于磨損獻身層的厚度)更是在亞微米到幾微米之間。外表附著力和沖突力很大程度上決議著MEMS裝置的功能。附著力低會引起產品合格率下降并在安裝進程中會呈現產品品質參差不齊的問題，高的沖突磨損則會使產品提前損壞并下降產品的使用壽命。DLC具有低外表能和大的接觸角，這會下降獨立元器件黏附到基體上的傾向，明顯提高產品合格率、可靠性和使用壽命。
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